光刻胶有什么作用

光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别鋈守踬痊是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。那么，你知道光刻胶的作用是什么？

方法/步骤

1、在光的照射下溶解速率发生变化，利用曝光区与非曝光区的溶解速率差来实现图形的转移。

2、溶解抑制/溶解促进共同作用。

3、将掩膜板上的图形转移到硅片表面的氧化层。

4、在后续工序中，保护下面的材料（刻蚀或离子注入）。